មួយ, កំណត់ប្រសិទ្ធភាពនៃតម្រងខ្យល់នៅគ្រប់កម្រិត
កម្រិតចុងក្រោយនៃតម្រងខ្យល់កំណត់ពីភាពស្អាតនៃខ្យល់ ហើយតម្រងខ្យល់ខាងលើមានតួនាទីការពារ ដែលធ្វើឲ្យតម្រងចុងក្រោយប្រើប្រាស់បានយូរ។
ដំបូងកំណត់ប្រសិទ្ធភាពនៃតម្រងចុងក្រោយយោងទៅតាមតម្រូវការនៃការច្រោះ។ តម្រងចុងក្រោយជាទូទៅគឺជាតម្រងខ្យល់ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ (HEPA) ជាមួយនឹងប្រសិទ្ធភាពនៃការច្រោះនៃ 95%@0.3u ឬច្រើនជាងនេះ និងតម្រងខ្យល់ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់នៃ 99.95%@0.3u (H13 grade) តម្រងខ្យល់ប្រភេទនេះមានភាពត្រឹមត្រូវនៃការច្រោះខ្ពស់ ហើយការចំណាយដែលត្រូវគ្នាក៏មានតម្លៃខ្ពស់ផងដែរ ដើម្បីបន្ថែមការការពារកម្រិតខ្ពស់។ ប្រសិនបើភាពខុសគ្នានៃប្រសិទ្ធភាពរវាងតម្រងមុន និងតម្រងខ្យល់ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់មានទំហំធំពេកនោះ ដំណាក់កាលមុននឹងមិនអាចការពារដំណាក់កាលចុងក្រោយបានទេ។ នៅពេលដែលតម្រងខ្យល់ត្រូវបានចាត់ថ្នាក់តាមលក្ខណៈបច្ចេកទេសប្រសិទ្ធភាព "G~F~H~U" របស់អ៊ឺរ៉ុប តម្រងចម្បងអាចត្រូវបានដំឡើងរៀងរាល់ 2 ទៅ 4 ជំហាន។
ឧទាហរណ៍ តម្រងខ្យល់ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ចុងក្រោយត្រូវតែការពារដោយតម្រងខ្យល់ដែលមានប្រសិទ្ធភាពមធ្យម ជាមួយនឹងលក្ខណៈបច្ចេកទេសប្រសិទ្ធភាពមិនទាបជាង F8 ។
ទីពីរ ជ្រើសរើសតម្រងដែលមានផ្ទៃតម្រងធំ
និយាយជាទូទៅ តំបន់ចម្រោះកាន់តែធំ ធូលីកាន់តែអាចផ្ទុកបាន និងអាយុកាលសេវាកម្មរបស់តម្រងកាន់តែយូរ។ តំបន់តម្រងធំ អត្រាលំហូរខ្យល់ទាប ធន់នឹងតម្រងទាប អាយុកាលតម្រងយូរ។ តម្រងខ្យល់ដែលផលិតដោយខ្លួនឯង មានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ មានលក្ខណៈនៃភាពជាក់លាក់នៃការច្រោះខ្ពស់ និងធន់ទ្រាំទាប ដូច្នេះវាមានអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរជាងនៅក្រោមផ្ទៃតម្រងដូចគ្នា។
ទីបី ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធសមហេតុផលនៃប្រសិទ្ធភាពតម្រងនៅកន្លែងផ្សេងៗ
ប្រសិនបើតម្រងមានធូលីដីភាពធន់នឹងកើនឡើង។ នៅពេលដែលការតស៊ូកើនឡើងដល់តម្លៃជាក់លាក់មួយ តម្រងនឹងត្រូវបានលុបចោល។ តម្លៃធន់ទ្រាំនឹងសំណល់អេតចាយនៃតម្រងត្រូវបានគេហៅថា "ធន់ទ្រាំនឹងការបញ្ចប់" ហើយជម្រើសនៃភាពធន់ទ្រាំចុងប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់អាយុសេវាកម្មរបស់តម្រង។
តម្រងខ្យល់ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់មានមុខងារសម្អាតដោយខ្លួនឯង ហើយសម្ភារៈមិនស្អិត ដែលជួយពន្យារអាយុសេវាកម្មរបស់វាយ៉ាងខ្លាំង។
ទី៤ ការសម្អាត និងប្រើប្រាស់ចោល
តម្រងភាគច្រើនគឺអាចចោលបាន ពួកវាមិនអាចសម្អាតបាន ឬមិនមានតម្លៃក្នុងការសម្អាត។ តម្រងខ្យល់ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់គឺពិសេសអំពីឱកាសនៃការប្រើប្រាស់ ហើយជាទូទៅវាមិនត្រូវបានសម្អាតទេ លុះត្រាតែវាត្រូវបានសម្អាតយ៉ាងហ្មត់ចត់ ហើយដំណើរការមិនផ្លាស់ប្តូរបន្ទាប់ពីការសម្អាត។
វិធីសាស្ត្រសម្អាតបែបបុរាណគឺត្រូវបន្ថែមការត្រដុសដៃជាមួយនឹងទឹក ដូច្នេះសម្ភារៈចម្រោះនៃតម្រងដែលអាចលាងសម្អាតបានគួរតែរឹងមាំ ដូចជាសម្ភារៈដែលមានជាតិសរសៃរដុបនៃតម្រងប្រសិទ្ធភាព G2-G4 និងសម្ភារៈចម្រោះនៃតម្រងខ្យល់ប្រសិទ្ធភាព F6 ជាទូទៅជាតិសរសៃគឺស្ថិតនៅចន្លោះ ∮0.5~∮5um វាមិនរឹងមាំ និងមិនអាចឈរត្រដុសបានទេ។ ដូច្នេះតម្រងភាគច្រើននៅខាងលើ F6 គឺអាចចោលបាន។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ០៥-០៥-២០២០